光學(xué)薄膜測量儀是一款利用光譜相干度量學(xué)工作的非接觸型膜厚測量系統(tǒng)。因其將光源、分光光度計(jì)和數(shù)據(jù)分析單元集成為一個(gè)單元，所以其配置緊湊，僅由一個(gè)主單元和光纖組成。此儀器設(shè)計(jì)緊湊，節(jié)省空間，適合安裝進(jìn)用戶的系統(tǒng)中，可進(jìn)行多種目標(biāo)的測量。此外，該儀器為無參照物測量，因此省略了煩人的參照物測量，可長時(shí)間穩(wěn)定地進(jìn)行高速、高準(zhǔn)確度測量。
光學(xué)薄膜測量儀的測量原理：
表面輪廓：
垂直于樣品表面的入射光，經(jīng)過表面反射后形成的反射角，會因表面輪廓的不同而產(chǎn)生變化。正是依據(jù)測量點(diǎn)之間反射角的變化，通過軟件重新計(jì)算并構(gòu)建了樣品表面輪廓，實(shí)現(xiàn)了全自動高精度的測量。
薄膜應(yīng)力：
對于薄膜、單層或者多層鍍膜的應(yīng)力，軟件主要依據(jù)理論，通過檢測鍍膜前后，基板曲率半徑的變化量計(jì)算得到。比如在半導(dǎo)體行業(yè)或者其他應(yīng)用領(lǐng)域，當(dāng)反射表面被加工處理后（鍍膜或者去鍍膜），操作人員能夠利用快速地對晶圓薄膜應(yīng)力進(jìn)行檢測。
光學(xué)薄膜測量儀的優(yōu)勢特征：
1、本測試儀特贈設(shè)測試結(jié)果自動分類功能。
2、可定制USB通訊接口，便于其拓展為集成化測試系統(tǒng)中的測試模塊。
3、8檔位超寬量程。同行一般為五到六檔位。
4、儀器小型化、手動/自動一體化。
5、操作簡便、性能穩(wěn)定，所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入，簡便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定。
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